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射频电源

MF-RPS系列

射频电源
功能特点
规格参数
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功能特点

高稳定度、高精度功率控制,可重复性好,外部相位同步,脉冲调制输出,谐波抑制≥30dBc

规格参数

频率:2/13.56/27.12/40.68/60/81.36MHz;

功率:1~12kW;

频率稳定度:≤0.005%;

承受驻波比:≤2.0;

输出阻抗:50Ω;

谐波抑制:≥30dBc;

冷却:水冷+风冷

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